臺式掃描電子顯微鏡的分辨率比光學顯微鏡高得多,達到納米級別。此外,SEM還可以觀察非導體材料,而傳統(tǒng)光學顯微鏡只能觀察導體材料。也正是由于SEM的高分辨率和大深度,它被廣泛應用于材料科學、納米科學和生物學等領域的研究。
利用電子束的相互作用來觀察材料的表面形貌和成分分布。通過電子源、采樣槍、電磁透鏡系統(tǒng)和檢測系統(tǒng)的協(xié)同工作,SEM可以提供高分辨率的圖像,并為科學研究和工程應用提供重要的信息。
臺式掃描電子顯微鏡的常見問題及解決方法:
1.啟動后無圖像顯示。
解決方法:
-確保電源連接正常,電源開關打開。
-檢查與計算機的連接,確保連接正確。
-檢查計算機是否安裝了相應的驅動程序,如果沒有,需要安裝驅動程序。
-檢查電子束的管電流和電壓設置是否正確。
2.圖像模糊。
解決方法:
-清潔試樣臺和透鏡,確保無灰塵和污垢。
-檢查電子槍聚焦和透鏡的設置,調整狀態(tài)。
-檢查加速電壓設置,如果過高或過低可能會導致圖像模糊。
-檢查試樣臺是否平穩(wěn),如果不平穩(wěn)可能會導致圖像模糊。
3.圖像偏斜或傾斜。
解決方法:
-檢查試樣臺是否水平,如果不水平可能會導致圖像偏斜。
-檢查試樣臺的移動狀態(tài),如果移動不穩(wěn)定可能會導致圖像傾斜。
-檢查與計算機的連接,確保連接穩(wěn)定,避免信號干擾。
4.圖像亮度不均勻。
解決方法:
-檢查電子槍亮度設置,調整為適當?shù)牧炼取?br />
-檢查透鏡和投影系統(tǒng),確保無污垢和缺損。
-根據(jù)試樣的性質和要求,適當調整電子束的開啟時間和掃描速度,以獲得均勻的圖像亮度。
5.出現(xiàn)電磁干擾或波紋。
解決方法:
-將其與其他電磁干擾源(如高頻設備)保持一定的距離。
-檢查電源線是否正確接地,如果接地不良可能會導致電磁干擾。
-電源線與其他設備的電源線隔離,避免共線干擾。