臺式電鏡能譜一體機(Scanning Electron Microscope with Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy，簡稱SEM-EDXS)是一種用于物質結構表征和化學成分分析的先進分析儀器。它結合了掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope，SEM)和能譜儀(Energy Dispersive X-Ray Spectrometer，EDXS)的功能，可以在微觀尺度下觀察樣品表面形貌和表征其元素成分。
掃描電子顯微鏡利用電子束和樣品的相互作用產(chǎn)生的信號來觀察和分析樣品表面形貌的儀器。SEM的工作原理基于電子束與樣品之間的相互作用，當電子束照射到樣品表面時，會與樣品中的原子和分子發(fā)生相互作用，從而產(chǎn)生多種信號。電子束的掃描可以得到樣品表面的圖像，并通過對信號的檢測和處理，獲得關于樣品的形貌、成分和結構等信息。
能譜儀是用于分析樣品化學成分的儀器。它利用X射線與樣品中的原子相互作用產(chǎn)生的特征X射線能譜來確定樣品的元素成分。在SEM-EDXS中，EDXS探測器位于SEM的側壁，可以同時接收到電子顯微鏡所產(chǎn)生的激發(fā)X射線。當電子束照射樣品表面時，樣品中的原子被激發(fā)產(chǎn)生特征X射線，這些X射線的能量和強度與樣品中的元素成分有關。EDXS探測器可以將這些X射線轉換為電信號，并通過能譜儀對信號進行處理和分析，從而確定樣品的元素成分和分布情況。
臺式電鏡能譜一體機的應用：
1.材料科學研究：用于觀察材料的微觀結構，分析材料的成分、相態(tài)和晶體結構。
2.生物學研究：用于觀察生物樣品的細胞結構和組織構造，分析生物樣品中的元素成分。
3.納米科學研究：用于觀察納米材料的形貌和結構，分析納米材料的成分和表面特性。
4.環(huán)境監(jiān)測：用于分析環(huán)境中的微粒物質的成分，例如大氣中的顆粒物和水中的污染物。
5.失效分析：用于觀察故障材料的微觀結構，分析故障原因和機理。
6.工業(yè)質量控制：用于分析材料中的元素成分，確保產(chǎn)品的質量和一致性。
