掃描電鏡報(bào)價(jià)是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)。掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。
掃描電鏡利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等等。掃描電子顯微鏡正是根據(jù)上述不同信息產(chǎn)生的機(jī)理,采用不同的信息檢測(cè)器,使選擇檢測(cè)得以實(shí)現(xiàn)。如對(duì)二次電子、背散射電子的采集,可得到有關(guān)物質(zhì)微觀形貌的信息;對(duì)x射線的采集(能譜EDS),可得到物質(zhì)化學(xué)成分的信息。
從原理上講,掃描電鏡是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對(duì)這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測(cè)試試樣表面形貌的觀察,掃描電鏡可以直接觀察觀察納米材料,進(jìn)行材料斷口的分析,直接觀察原始表面等。
而環(huán)境掃描電鏡的工作原理是采用多級(jí)真空壓差技術(shù),在保持電子槍和鏡筒的高真空狀態(tài)下,樣品室內(nèi)可以保持較高的氣壓及較高的濕度和壓力,而且溫度可調(diào),氣體二次電子探頭接收不導(dǎo)電樣品表面信號(hào),便于觀察新鮮活體生物樣品,解決了生物樣品失水變形問題。樣品無須干燥及鍍膜,能保持生物活體形態(tài)結(jié)構(gòu)的真實(shí)性。
環(huán)境掃描電鏡既可以在高真空狀態(tài)下工作,又可以在低直空狀態(tài)下工作。在利用高真空功能的時(shí)候,對(duì)于非導(dǎo)電材料和濕潤(rùn)試樣,要經(jīng)過固定、脫水,干燥,鍍膜等系列處理后方可觀察。利用低真空功能,樣品可以省略預(yù)處理環(huán)節(jié),直接觀察試樣,不存在化學(xué)固定所產(chǎn)生的各種問題,甚至可以觀察活體生物樣品。